机械加工生产中，脱脂硅烷作为常见的金属保护工艺，必然会产生相应的废水，该废水无机盐含量高，污染严重，通常是含少量脱脂液、硅烷处理剂等的清洗废水，废水主要含有机物、悬浮物、少量氟化物及重金属，污水偏碱性，对环境产生一定的危害。
硅烷废水处理设备取代了传统工艺中的二沉池，它可以高效地进行固液分离，得到直接使用的稳定中水。又可在生物池内维持高浓度的微生物量，工艺剩余污泥少，有效地去除氨氮，出水悬浮物和浊度接近于零，出水中细菌和病毒被大幅度去除。
用户会根据硅烷废水的成分，实际情况，选取合适工艺，废水处理设备近*一般分为预处理单元、浓缩减量单元、固化单元，不同的单元，所采用的工艺不同，硅烷废水处理设备也有不同。
1、预处理单元工艺中，微波多效过滤系统越来越普及，其突破传统过滤沉淀工艺的限制，将沉淀循环、加药搅拌等环节合为一体，保证了对浊度、SS的有效去除，同时可针对性降低TOC、色度、金属、硬度含量。
2、浓缩减量单元，主要含膜法和热法，工艺比较多。其中膜法浓缩工艺中，应用较多的是极限分离系统，此系统专门针对高硬度、高COD、高TDS废水而研发，主要以错流过滤制取纯水，被处理废水以一定的速度流过膜面，透过液从垂直方向透过膜，大部分截留物被浓缩液夹带出膜组件。此方式大大减少膜面浓度极化层的厚度，可以有效降低膜污染。
3、固化单元，应用较多的是蒸发系统、MVR等。其中，蒸发系统相对成熟，在废水近*系统中作为末端蒸发工艺使用较多。
硅烷废水处理设备的作用主要是将硅烷废水进行近*，通过优化硅烷废水的处理工艺，将硅烷废水有效处理，保证整套废水的正常运行和出水水质。
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